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苏州赛森电子申请基于探针机械手的晶圆位置检测装置及方法专利,可控制下位机执行标定值调用或实际误差计算

2026年07月13日 21:10
 

国家知识产权局信息显示,苏州赛森电子科技有限公司申请一项名为“一种基于探针机械手的晶圆位置检测装置及方法”的专利,公开号CN122100238A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请公开了一种基于探针机械手的晶圆位置检测装置及方法,涉及半导体制造技术领域,该装置包括上位机、下位机、带上升沿探针功能的伺服驱动器、传感器及机械手;传感器沿机械手的伸展方向共线设置,传感器以Y轴为对称轴对称设置,Y轴的方向与硅片的运动方向一致,传感器与伺服驱动器沿竖直方向设置,伺服驱动器驱动机械手运动,实时采集硅片边沿经过传感器时机械手的伸展距离值并传输至下位机;下位机分别与伺服驱动器、传感器及机械手建立通信连接,下位机内置有圆心算法模块,上位机与下位机通信连接,上位机用于输出移动路径信息及压力工况信息,并接收下位机反馈的圆心坐标信息后,控制下位机执行标定值调用或实际误差计算。

天眼查资料显示,苏州赛森电子科技有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州赛森电子科技有限公司参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可5个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。